고순도(UHP) 특수진공(High Vacuum) 스테인리스 스틸 청정관 솔루션

마이크론(Micron) 승인

초고순도
고진공 튜브
MS7 시리즈

WSG MS7 시리즈는 반도체 웨이퍼 팹 내의 고진공 및 가스 공급 시스템을 위해 특수 설계된 고성능 튜브 솔루션입니다. 극대화된 내식성과 소재 안정성을 제공하도록 설계된 MS7은 첨단 반도체 공정의 신뢰성을 뒷받침합니다.

첨단 야금학 및 인증된 엔지니어링
엘리트 소재
소싱
한국, 미국, 일본산 최고급 Single-Melt 304, 304L 및 316L 원자재만을 사용하여 소재의 무결성과 탁월한 용접성을 보장합니다.
멀티 표준
준수
심리스는 ASTM A213 및 A269를 준수하며, 용접 제품은 SA249, ASME B31.3 및 JIS G3459 표준을 상회하는 품질로 제조됩니다.
정밀 표면
거칠기
내경(ID) 표면 마감을 32 Ra (0.8 μm) 수준으로 보장하여 파티클 포집과 가스 흡착을 방지하는 매끄러운 유체 경로를 제공합니다.
반도체 및 마이크로일렉트로닉스 적용 분야
팹 가스
공정
순도와 누설 방지 무결성이 필수적인 벌크 가스 분배 및 특수 가스 캐비닛을 위한 핵심 솔루션입니다.
장비
훅업
시설 인프라와 공정 장비 사이의 원활한 인터페이스를 보장하는 고정밀 장비 레벨 연결용으로 설계되었습니다.
기술 사양
규격
범위
외경(OD) 1/4"(6.35mm)부터 6"(152.4mm)까지 지원하여 계장부터 메인 공정 라인까지 대응 가능합니다.
완벽한
추적성
모든 MS7 튜브는 MTR(Material Test Report) 문서를 동반하며, 원료 용해부터 최종 설치까지 100% 추적성을 보장합니다.

고순도(UHP) 특수진공(High Vacuum) 스테인리스 스틸 청정관 솔루션

마이크론(Micron) 승인

초고순도 고진공 튜브 MS7 시리즈

WSG MS7 시리즈는 반도체 웨이퍼 팹 내의 고진공 및 가스 공급 시스템을 위해 특수 설계된 고성능 튜브 솔루션입니다. 극대화된 내식성과 소재 안정성을 제공하도록 설계된 MS7은 첨단 반도체 공정의 신뢰성을 뒷받침합니다.

첨단 야금학 및 인증된 엔지니어링
엘리트 소재 소싱한국, 미국, 일본산 최고급 Single-Melt 304, 304L 및 316L 원자재만을 사용하여 소재의 무결성과 탁월한 용접성을 보장합니다.
멀티 표준 준수심리스 제품은 ASTM A213 및 A269를 준수하며, 용접 제품은 SA249, ASME B31.3 및 JIS G3459 표준을 상회하는 품질로 제조됩니다.
정밀 표면 거칠기내경(ID) 표면 마감을 32 Ra (0.8 μm) 수준으로 보장하여 파티클 포집과 가스 흡착을 방지하는 매끄러운 유체 경로를 제공합니다.
부식 방지 UHP 솔루션고진공 공정에 사용되는 특수 가스 이송에 최적화되어 장기적인 시스템 내구성을 제공합니다.
반도체 및 마이크로일렉트로닉스 적용 분야
웨이퍼 팹 가스 공정순도와 누설 방지 무결성이 필수적인 벌크 가스 분배 및 특수 가스 캐비닛을 위한 핵심 솔루션입니다.
장비 훅업(Hook-up)시설 인프라와 공정 장비 사이의 원활한 인터페이스를 보장하는 고정밀 장비 레벨 연결용으로 설계되었습니다.
차세대 디스플레이OLED 및 마이크로일렉트로닉스 생산을 위한 오염 없는 초고순도 환경을 제공합니다.
태양광 및 테스트 장비태양전지 생산 및 높은 사이클이 반복되는 반도체 테스트 환경을 위한 고내구성 튜브 솔루션입니다.
기술 사양
규격 범위외경(OD) 1/4"(6.35mm)부터 6"(152.4mm)까지 지원하여 계장 라인부터 메인 공정 라인까지 모두 대응 가능합니다.
표준화된 물류6,000mm 또는 20ft의 표준 길이를 보유하여 신속한 현장 설치와 국제 프로젝트 일정을 지원합니다.
완벽한 추적성모든 MS7 튜브는 MTR(Material Test Report) 문서를 동반하며, 원료 용해부터 최종 설치까지 100% 추적 가능성을 보장합니다.

Corporate Address : Busan, Korea

Copyright © 2023 WSG All Rights Reserved

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